集成电路应用高纯电子级多晶硅实现中国制造

5月24日，由中国半导体协会、青海省经济和信息化委员会主办，国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司承办的“集成电路硅材料产业发展座谈会”上，传来了令人振奋的好消息：国家电投黄河新能源分公司生产的“黄河水电多晶硅”，符合集成电路应用的高纯电子级多晶硅，打破了中国市场长期由国外垄断的格局，真正实现了中国制造，打响了民族品牌。

据了解，电子级多晶硅是国家发展集成电路产业的战略原材料，长期以来，生产技术一直由国外垄断，成为中国发展集成电路产业的瓶颈。通过多年的努力，国家电投黄河新能源分公司建成了国内第一条电子级多晶硅生产线，生产出符合集成电路应用的高纯电子级多晶硅。

科技研发，占领晶硅制造制高点

“黄河水电多晶硅”项目采用改良西门子法，年产达2500吨电子级多晶硅，实现完全闭路循环，节能低耗、安全环保。其中，冷氢化四氯化硅转化率达到国内最高水平;还原炉回收尾气经处理后，完全实现闭路循环生产;产品后处理采用全程洁净环境流水线。项目纳入中国第一批符合《多晶硅行业准入条件》，并成功申请了《极大规模集成电路制造装备及成套工艺(02专项)》工作。

专业团队，全过程质量控制

“黄河水电多晶硅”采用世界一流的标准化专业厂房，具备成熟的洁净生产技术，进行原辅材料、生产过程以及最终成品的检测控制。拥有国内唯一一家能够涵盖电子级多晶硅材料全部检测项目的综合实验室，获得国内首家CNAS认可。

突破核心技术，打响民族品牌

经过多年生产实践，“黄河水电多晶硅”形成了独有的技术优势，产品指标达到国际先进水平，其中氧含量<0.02ppma，碳含量<0.02ppma，受主杂质<0.03ppba，施主杂质<0.05ppba，基体总金属杂质<2ppbw，经第三方权威检测机构检测，产品质量与德国、日本知名多晶硅质量相当。

目前，高纯电子级多晶硅已经得到下游客户的广泛认可，该产品用于生产3至8英寸重掺、轻掺抛光片和外延片，经过12英寸抛光片质量评估，与国外产品质量无差异，完全可替代进口产品，“黄河水电多晶硅” 打响了民族品牌。

对于未来，黄河上游水电开发有限责任公司总经理魏显贵表示，“黄河水电多晶硅”将始终致力于核心技术研发和质量提升，以创新驱动引领未来发展，努力将国内电子级多晶硅市场占有率提升至30%以上，力争成为全国重要的集成电路材料生产基地和行业领军企业。