2016太阳能级多晶硅的国家标准

　　1范围

　　本标准规定了太阳能级硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及贮存。

　　本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅为原料，生产的棒状多晶硅、粒状状多晶硅、包括块状多晶硅、碳头料和生产过程中的硅粉，以及采用物理提纯法提纯生产的多晶硅。产品主要用于太阳能级单晶硅棒和多晶硅锭的生产。

　　2　规范性引用文件

　　下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

　　GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法

　　GB/T 1552 硅、锗单晶电阻率测试直排四探针法

　　GB/T 1553 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法

　　GB/T 4059 硅多晶气氛区熔磷检验法

　　GB/T 4060 硅多晶真空区熔基硼检验法

　　GB/T 1558 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

　　GB/T 1558 测定硅晶体中代位碳含量红外吸收方法

　　GB/T ××××-200× 硅多晶中基体金属杂质化学分析电感耦合等离子体质谱法

　　GB/T 14264 半导体材料术语

　　ASTM F1389-00 光致荧光光谱测单晶硅中Ⅲ-Ⅴ族杂质

　　ASTM F1724-01 利用原子吸收光谱测量多晶硅表面金属杂质

　　3　要求

　　3.1　分类

　　产品按外型分为块状、粒状、粉状和棒状多晶硅，根据纯度的差别分为3级。

　　3.2　牌号

　　硅多晶牌号表示为：SOGPSi—1□—2□

　　SOGPSi表示太阳能级硅多晶

　　1□字母I表示棒状，N表示块状、G表示粒状、P表示粉状

　　2□阿拉伯数字表示硅多晶等

　　3.3　技术要求

　　3.3.1　棒状、块状硅

　　太阳能级棒状、块状多晶硅的纯度及相关技术要求应符合表1的规定。

　　表1

　　项目

　　太阳能级硅多晶等级

　　1级品

　　2级品

　　3级品

　　N型电阻率，Ω·cm

　　≥50

　　≥15

　　≥10

　　P型电阻率，Ω·cm

　　≥500

　　≥10

　　氧浓度，at/cm3

　　≤1.0×1017

　　碳浓度，at/cm3

　　≤2.5×1016

　　≤5.0×1016

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